Puslaidininkiniai įtaisai. Puslaidininkinių įtaisų gamybos komponentų ir tikrinimo įrangos eksploatacinių charakteristikų įvertinimas. 3 dalis. Nanoskalės plokštelių paviršiaus tikrinimo naudojant UV šviesą metodas

Komentavimo iki data 2026-11-15

Eksportuoti komentarus Skaityti, komentuoti projektą

Projekto etapai

1. Decision on WI Proposal

2. Viešoji apklausa

Nuo 2026-09-16 iki 2026-11-15

Organizacija

CENELEC Europos elektrotechnikos standartizacijos komitetas

ICS

31.080.99 - Kiti puslaidininkiniai įtaisai

Užsienio technikos komitetas

CLC/TC 47X

Komentarų skaičius

Komentavimo pradžia

2026-09-16

prEN IEC 63567-3:2026