prEN IEC 63567-1:2025
Puslaidininkiniai įtaisai. Puslaidininkinių įtaisų gamybos komponentų ir tikrinimo įrangos eksploatacinių charakteristikų įvertinimas. 1 dalis. EUV plėvelės praleidimo faktoriaus įvertinimo metodas
Standarto projektas Viešoji apklausaProjekto etapai
1. Decision on WI Proposal
2. Viešoji apklausa
Nuo 2025-12-27
iki 2026-02-25
Organizacija
CENELEC Europos elektrotechnikos standartizacijos komitetasICS
31.080.99 - Kiti puslaidininkiniai įtaisaiUžsienio technikos komitetas
CLC/TC 47XKomentarų skaičius
0Komentavimo pradžia
2025-12-27